Concept model of atomic hydrogen dry developing process for photolithographic patterning

1 H. Horibe, M. Yamamoto, E. Kusano, T. Ichikawa, and S. Tagawa, J. Photopolym. Sci. Technol. 21, 293 (2008).

2 M. Yamamoto, H. Horibe, H. Umemoto, K. Takao, E. Kusano, M. Kase, and　S. Tagawa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 48, 026503 (2009).

3 M. Yamamoto, T. Maruoka, A. Kono, H. Horibe, and H. Umemoto, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 49, 016701 (2010).

4 A. Kono, Y. Arai, Y. Goto, M. Yamamoto, S. Takahashi, T. Yamagishi,　K. Ishikawa, M. Hori, and H. Horibe, Thin Solid Films 575, 17 (2015).

5 S. Takagi, T. Nishiyama, M. Yamamoto, E. Sato, T. Kamimura, T. Ogata, and　H. Horibe, J. Photopolym. Sci. Technol. 29, 629 (2016).

6 A. Matsuo, S. Takagi, T. Nishiyama, M. Yamamoto, E. Sato, and H. Horibe,　J. Photopolym. Sci. Technol. 31, 369 (2018).

7 H. N. Wanka and M. B. Schubert, J. Phys. D: Appl. Phys. 30, L28 (1997).

8 A. Izumi, H. Sato, S. Hashioka, M. Kudo, and H. Matsumura, Microelectron. Eng.　51-52, 495 (2000).

9 V. Ramachandran, M. F. Brady, A. R. Smith, R. M. Feenstra, and D. W. Greve,　J. Electron. Mater. 27, 308 (1998).

10 H. Ohmi, J. Sato, T. Hirano, Y. Kubota, H. Kakiuchi, and K. Yasutake, Appl. Phys. Lett. 109, 211603 (2016).

11 I. Langmuir, J. Am. Chem. Soc. 34, 860 (1912).

12 R. W. Wood, London, Edinburgh, Dublin Philos. Mag. J. Sci. 44, 538 (1922).

13 H. Matsumura, H. Umemoto, K. K. Gleason, and R. E. I. Schropp, Catalytic Chemical Vapor Deposition (Wiley, 2019).

14 E. Ekinci, in Hydrogen Energy System (Springer Netherlands, 1995), pp. 111–133.

15 C. Yan, H. Mao, W. Li, J. Qian, Y. Zhao, and R. J. Hemley, Phys. Status Solidi　201, R25 (2004).

16 G. Shivkumar, S. S. Tholeti, M. A. Alrefae, T. S. Fisher, and A. A. Alexeenko,　J. Appl. Phys. 119, 113301 (2016).

17 G. E. Moore and F. C. Unterwald, J. Chem. Phys. 40, 2639 (1964).

18 F. Jansen, I. Chen, and M. A. MacHonkin, J. Appl. Phys. 66, 5749 (1989).

19 Y. Goto, Y. Angata, E. Tsukazaki, S. Takahashi, K. Koike, T. Yamagishi, and　H. Horibe, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 53, 02BB04 (2014).

20 Y. Goto, K. Kitano, T. Maruoka, M. Yamamoto, A. Konno, H. Horibe, and　S. Tagawa, J. Photopolym. Sci. Technol. 23, 417 (2010).

21 Z. Czech, Polym. Bull. 52, 283 (2004).

22 F. Rahman, D. J. Carbaugh, J. T. Wright, P. Rajan, S. G. Pandya, and S. Kaya, Microelectron. Eng. 224, 111238 (2020).

23 A. Salmassi and W. Schnabel, Polym. Photochem. 5, 215 (1984).

24 C. Walling and M. J. Gibian, J. Am. Chem. Soc. 87, 3361 (1965).

25 G. Morales, E. Castro, E. Kaluyzhnaya, and R. Guerrero-Santos, J. Appl. Polym. Sci. 57, 997 (1995).

26 Y. Ito, Y. Aoki, T. Matsuura, N. Kawatsuki, and M. Uetsuki, J. Appl. Polym. Sci. 42, 409 (1991).

27 D. M. Dankbar and G. Gauglitz, Anal. Bioanal. Chem. 386, 1967 (2006).

28 T. Ohtake, T. Takaoka, and M. Nakagawa, Kobunshi Ronbunshu 66, 111 (2009). 29 T. Ohtake, H. Oda, T. Takaoka, and M. Nakagawa, J. Photopolym. Sci. Technol. 22, 205 (2009).